搜索關(guān)鍵詞: 氮化硅陶瓷加工 氮化鋁陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷


| 產(chǎn)品名稱 | 半導體設備零件氧化鋁支撐環(huán) |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可按圖紙定制 |
| 粗糙度 | 0.05μm |
| 材料成分 | 氧化鋁 |
| 我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀! |
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PRODUCT CATEGORIES
氧化鋁對準環(huán)與支撐環(huán)是半導體刻蝕、沉積等制程中的關(guān)鍵精密部件,憑借材料本征優(yōu)勢,正在替代金屬與塑料結(jié)構(gòu)。其首要價值在于超高尺寸穩(wěn)定性:氧化鋁熱膨脹系數(shù)低,且硬度高,經(jīng)精密磨削后圓度可控制在微米級,確保晶圓在升降溫循環(huán)中始終維持精準同心度,有效抑制邊緣偏差導致的良率損失。其次,氧化鋁具有優(yōu)異的電絕緣與等離子體耐蝕性,擊穿電壓達20 kV以上,對含氟、含氯高能等離子體表現(xiàn)出極佳的化學惰性,可在腔體中穩(wěn)定工作上千小時,顯著降低顆粒污染與金屬離子析出風險。其熱導率約30-40 W/m·K,能迅速將工藝熱量均勻散開,避免局部熱斑導致的晶圓翹曲。此外,氧化鋁可通過注塑-燒結(jié)實現(xiàn)凈成形,后期僅需微量精加工,綜合成本較氮化硅低30%以上,為12英寸乃至更先進制程的規(guī)模化應用提供了經(jīng)濟可行的路徑。



